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ISARA 400 - LA MACHINE à MESURER TRIDIMENSIONELLE ULTRA PRéCISE

ISARA - La machine à mesurer tridimensionelle ultra précise. Avec le lancement de la nouvelle machine à mesurer tridimensionnelle ISARA 400, IBS Precision Engineering offre la possibilité de mesurer de grandes pièces aux formes complexes à un niveau de précision nanométrique. Par rapport à ISARA 100 le volume de mesure a augmenté en volume d’un facteur 40 pour atteindre 400 x 400 x 100 mm3 ; un volume important pour une incertitude de 45 nanomètre (nm) 1D dans les trois directions. La masse des objets à mesurer va jusqu’à 32,5 kg.

La pièce à mesurer est placée sur une table miroir en Zerodur (matériau choisi en raison de sa stabilité à long terme, de sa stabilité thermique, de sa faible masse et de sa grande rigidité), découplée de la table en granite via une plaque en carbure de silicium, qui se déplace en X et Y sur une table en granite grâce à des guidages sur coussin d’air en matériau poreux. La structure métrologique, qui supporte les 3 lasers interféromètres et le capteur, se déplace en Z selon le même principe de guidage. Le principe 3D d’Abbe est entièrement respecté car les 3 lasers se recoupent toujours et très précisément au centre de la touche de mesure.

La structure métrologique est elle aussi en carbure de silicium et conçue pour offrir une très grande rigidité. Les trois moteurs, montés séparément, fonctionnent en entrainement direct et sont également équipés de guidage à air. Le moteur qui déplace la structure métrologique est placé sous celle-ci et dans l’axe de son centre de gravité. Un soin particulier a été porté à l’isolation de la machine de façon à éviter toutes vibrations. La manipulation des pièces est entièrement automatique pour éviter tout chocs et permettent un positionnement précis et en douceur de la pièce – sans risque de l’endommager. Une caméra permet de visualiser les mesures. L’image est centrée en permanence sur la pointe de touche et la caméra se déplace ainsi selon l’axe des Z. ISARA est entièrement carrossée – mais sans contact cependant avec la machine elle-même - de façon à la protéger des poussières mais aussi des perturbations acoustiques environnantes.
ISARA a été conçue comme une machine multi capteurs, cela afin de répondre aux besoins les plus larges : capteurs à contact, capteur AFM, capteur sans contact (ex. Interféromètre Linnik). Un système d’alignement permet de toujours bien régler le capteur de façon à respecter le principe d’Abbe. La vitesse de mesure est réglable de 0,01 à 10 mm/s.

Points clefs

  • Outil métrologique pour la mesure 3D en résolution nanométrique des surfaces complexes et des optiques de formes libres
  • Incertitude de mesure réduite à 50 (1D) dans les trois directions
  • Large volume de mesure 400 x 400 x 100 mm3
  • Capacité de référencer des surfaces optiques à des références mécaniques
  • Mesures entièrement traçable
  • Machine multi-capteurs – porte capteur cinématique
  • Guidages aérostatiques en matériau poreux permettant des mouvements réguliers, sans frottement, parfait pour le scanning 3D

 

Télécharger: Isara 400 (en Anglais)

 

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